MPI 8英寸高低溫探針 臺

一、MPI 8英寸高低溫探針 臺的產品特點：

（1）適用于多種晶圓量測應用：

• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 失效分析 - 探針卡 / 節間探測

• 可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試

• 高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A

（2）MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環境：

• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境

• 支援飛安級低漏電值量測

• 溫度量測范圍 -60 °C 至 300 °C

（3）工效學設計及彈性選配：

• 便利的晶圓單片上片，搭配簡單快速的晶圓預對準功能，實現自動化流程簡單化

• 垂直點測控制環境 (Vertical Control Environment, VCE™)，方便安全有效地側面觀察點測區域

• 內建防震系統

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測操作

• 安全測試管理系統 (Safety Test Management, STM™) 選配，方便在任意溫度進行上片/下片，并自動進行露點控制

三、設備簡介：

MPI的TS2000-SE是市場上200 mm自動化工程探測系統，集成了專為降低測試成本而設計的創新功能。這些功能集成在MPI ShielDEnvironment™中，可實現超低噪聲，非常精確和高度可靠的DC / CV，RF和高功率測量。