200mm8英寸射頻半自動探針臺

MPI TS2000是世界范圍內成熟的探針系統的自然演變，其專用設計滿足先進半導體測試市場的要求。200mm 8英寸射頻半自動探針 臺 系統與所有MPI系統附件完全兼容，200mm 8英寸射頻半自動探針 臺 主要用于解決故障分析，設計驗證，IC工程，晶圓級可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件測試的特殊要求。

TS2000可用于環境溫度和/或僅熱溫度操作模式，速度快達10 Dies /秒（取決于最終配置），這使其成為離散RF設備上預生產電氣測試的理想選擇

適用于多種量產型晶圓量測應用
• 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 射頻量測 - 至高 67 GHz & 4 埠
• 高功率量產測試 - 至高 10 kV / 600 A
• 集成電路設計驗證 - 室溫至 300 °C

量產可靠性
• 專為 24/7 穩定可靠的量產測試而設計
• 內建被動式防震桌
• 可另選配避震基座
• 適用于室溫至 300 °C 量測

工效學設計及彈性選配
• 簡易便利的前門單晶圓上片設計
• 大面積工作臺設計，可乘載至多 12x DC 或 4x
DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 標準探針卡夾具
• 另有多種晶圓載物臺、4.5“ 探針卡夾具可做選
擇，亦有諸多配件如 DC/RF 微定位器、光學顯
微鏡等可搭載，以完全支援您的應用需求