12英寸全自動射頻探針臺

12英寸全自動射頻探針臺

12英寸全自動射頻探針臺

產品特點：

1，專為多種晶圓測試應用而設計

• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV，ESD,1/f

• 射頻、毫米波、射頻頻率可設置可從26GHz到 110GHz或更高。

• 晶圓級可靠性-用于精確的壓力和測量條件
  

• lin先的測試執行軟件套裝的驅動程序

2，WaferWalletTM 操作平臺

• 設計有五個單獨的托盤，可按人體工學方式手動裝載150、200或300毫米的“模型”晶圓

• 在多個溫度條件下全自動測試可多達五個相同的晶圓
  

• 有在任何溫度下裝載/卸載晶片的*能力

   

   

3，ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量測環境，以得到最佳的 1/f 超低噪測試結果

• 支援 fA ji超低噪 IV 量測

• 可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作

• 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C
  
  

3，工效學設計及彈性選配

• 從正面輕松放置晶片或單個DUT
  

• 內建防震系統

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測操作

• 安全測試管理系統 (Safety Test Management, STM™)選配具自動進行露點控制功能

• 預留制冷機組空間，節省空間不占位

• 儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設長度，提供最高的量測機能

設備簡介：

TS3500和TS3500-SE 在功能上與MPI著名的已建立的 TS3000 和  TS3000-SE  300毫米探針臺具有相同的功能，通過配置或升級MPI*的WaferWallet™，可以實現全自動功能。MPI的解決方案通過提供比其他供應商的半自動化產品更少的完全自動化功能，降低了客戶的總體測試成本。