MPI 12英寸高低溫半自動探針臺

一、MPI 12英寸高低溫半自動探針臺的產品特點：

（1）多種晶圓測量應用

• 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f

• 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 可靠性測試 - 精確的壓力測試

• 先進的測試控制軟件套件

（2）ShielDEnvironment™ 屏蔽環境

• 專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設計的精密量測環境，以得到最佳的 1/f 超低噪測試結果

• 支援 fA ji超低噪 IV 量測

• 可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作

• 具配置彈性的溫度可量測范圍 -60 °C 至 300 °C
  

（3）工效學設計及彈性選配

• 簡易便利的前門單晶圓/待測物上片設計

• 內建防震系統

• 完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測操作

• 安全測試管理系統 (Safety Test Management, STM™)

• 選配具自動進行露點控制功能

• 預留制冷機組空間，節省空間不占位

• 儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設長度，提供最高的量測機能

二、設備簡介：

（1）TS3000-SE是TS3000探針臺系統的進一步開發，配備MPI ShielDEnvironment™，可實現超低噪聲，極其精確和高度可靠的DC / CV，1 / f，RTS和RF測量，主要滿足設備的需求表征，  晶圓級可靠性以及RF和mmW  應用。

（2）*的主動冷卻探頭壓板設計可在-60°C至300°C的寬溫度范圍內提供最大的穩定性，使TS3000-SE探頭系統成為在不同熱條件下測試設備的jue佳選擇。

三、MPI 12英寸高低溫半自動探針臺的機臺特征：